Hatur nuhun pikeun ngadatangan Nature.com.Versi browser anu anjeun anggo gaduh dukungan CSS kawates.Pikeun pangalaman anu pangsaéna, kami nyarankeun yén anjeun nganggo browser anu diropéa (atanapi nganonaktipkeun Mode Kasaluyuan dina Internet Explorer).Samentawis waktos, pikeun mastikeun dukungan anu terus-terusan, kami bakal ngajantenkeun situs tanpa gaya sareng JavaScript.
4H-SiC geus commercialized salaku bahan pikeun alat semikonduktor kakuatan.Nanging, réliabilitas jangka panjang alat 4H-SiC mangrupikeun halangan pikeun aplikasi anu lega, sareng masalah réliabilitas anu paling penting tina alat 4H-SiC nyaéta degradasi bipolar.Degradasi ieu disababkeun ku hiji Shockley stacking fault (1SSF) rambatan tina dislocations pesawat basal dina kristal 4H-SiC.Di dieu, urang ngajukeun métode pikeun suppressing ékspansi 1SSF ku implanting proton on 4H-SiC wafers epitaxial.Dioda PiN anu didamel dina wafer sareng implantasi proton nunjukkeun ciri tegangan-arus anu sami sareng dioda tanpa implantasi proton.Kontras, ékspansi 1SSF sacara éféktif diteken dina dioda PiN-implanted proton.Ku kituna, implantasi proton kana wafers epitaxial 4H-SiC mangrupakeun hiji metodeu éféktif pikeun suppressing degradasi bipolar alat semikonduktor kakuatan 4H-SiC bari ngajaga kinerja alat.Hasil ieu nyumbang kana pamekaran alat 4H-SiC anu tiasa dipercaya.
Silicon carbide (SiC) dipikawanoh lega salaku bahan semikonduktor pikeun kakuatan tinggi, alat semikonduktor frékuénsi luhur nu bisa beroperasi dina lingkungan kasar1.Aya seueur polytypes SiC, diantarana 4H-SiC gaduh sipat fisik alat semikonduktor anu saé sapertos mobilitas éléktron anu luhur sareng médan listrik anu rusak2 kuat.Wafer 4H-SiC kalayan diaméter 6 inci ayeuna dikomersilkeun sareng dianggo pikeun produksi masal alat semikonduktor kakuatan3.Sistem traksi pikeun kandaraan listrik sareng karéta didamel nganggo alat semikonduktor kakuatan 4H-SiC4.5.Sanajan kitu, alat 4H-SiC masih kakurangan tina masalah reliabiliti jangka panjang kayaning ngarecahna diéléktrik atawa reliabilitas pondok-circuit, 6,7 nu salah sahiji masalah reliabiliti pangpentingna nyaéta degradasi bipolar2,8,9,10,11.Degradasi bipolar ieu kapanggih langkung ti 20 taun ka pengker sareng parantos lami janten masalah dina fabrikasi alat SiC.
Degradasi bipolar disababkeun ku hiji Shockley stack cacad (1SSF) dina kristal 4H-SiC kalawan basal plane dislocations (BPDs) propagating ku rekombinasi ditingkatkeun dislocation glide (REDG) 12,13,14,15,16,17,18,19.Ku alatan éta, lamun ékspansi BPD diteken ka 1SSF, alat kakuatan 4H-SiC bisa fabricated tanpa degradasi bipolar.Sababaraha métode geus dilaporkeun pikeun ngurangan rambatan BPD, kayaning BPD mun Thread Tepi Dislocation (TED) transformasi 20,21,22,23,24.Dina wafer epitaxial SiC panganyarna, BPD utamana aya dina substrat sareng henteu dina lapisan epitaxial kusabab konversi BPD ka TED nalika tahap awal kamekaran epitaxial.Ku alatan éta, masalah sésana degradasi bipolar nyaéta distribusi BPD dina substrat 25,26,27.Nyelapkeun "lapisan reinforcing komposit" antara lapisan drift jeung substrat geus diusulkeun salaku hiji metodeu éféktif pikeun suppressing ékspansi BPD dina substrat28, 29, 30, 31. Lapisan ieu ngaronjatkeun probabiliti rekombinasi pasangan éléktron-liang dina lapisan epitaxial jeung substrat SiC.Ngurangan jumlah pasangan éléktron-liang ngurangan gaya nyetir REDG mun BPD dina substrat, jadi lapisan tulangan komposit bisa ngurangan degradasi bipolar.Ieu kudu dicatet yén sisipan lapisan merlukeun waragad tambahan dina produksi wafers, sarta tanpa sisipan lapisan hese ngurangan jumlah pasangan éléktron-liang ku ngan ngadalikeun kadali hirupna pamawa.Ku alatan éta, masih aya kabutuhan kuat pikeun ngembangkeun métode suprési séjén pikeun ngahontal kasaimbangan hadé antara ongkos manufaktur alat jeung ngahasilkeun.
Kusabab perluasan BPD ka 1SSF merlukeun gerakan dislocations parsial (PDs), pinning PD mangrupakeun pendekatan ngajangjikeun pikeun ngahambat degradasi bipolar.Sanajan PD pinning ku pangotor logam geus dilaporkeun, FPDs dina substrat 4H-SiC lokasina dina jarak leuwih ti 5 μm ti beungeut lapisan epitaxial.Sajaba ti éta, saprak koefisien difusi tina sagala logam di SiC pisan leutik, hese pikeun pangotor logam diffuse kana substrat34.Kusabab massa atom logam anu rélatif badag, implantasi ion logam ogé hésé.Sabalikna, dina kasus hidrogén, unsur panghampangna, ion (proton) bisa ditanamkeun kana 4H-SiC nepi ka jerona leuwih ti 10 µm maké akselerator kelas MeV.Ku alatan éta, lamun implantation proton mangaruhan PD pinning, mangka bisa dipaké pikeun ngurangan rambatan BPD dina substrat.Nanging, implantasi proton tiasa ngaruksak 4H-SiC sareng nyababkeun panurunan kinerja alat37,38,39,40.
Pikeun nungkulan degradasi alat alatan implantasi proton, annealing suhu luhur dipaké pikeun ngalereskeun karuksakan, sarupa jeung métode annealing ilahar dipaké sanggeus implantation ion akséptor dina processing alat1, 40, 41, 42. Sanajan spéktrometri massa ion sékundér (SIMS)43 boga dilaporkeun difusi hidrogén alatan annealing-suhu luhur, mungkin yen ngan dénsitas atom hidrogén deukeut FD teu cukup pikeun ngadeteksi pinning tina PR maké SIMS.Ku alatan éta, dina ulikan ieu, urang implanted proton kana 4H-SiC wafers epitaxial saméméh prosés fabrikasi alat, kaasup annealing suhu luhur.Kami nganggo dioda PiN salaku struktur alat ékspérimén sareng nyiptakeunana dina wafer epitaxial 4H-SiC anu diimplankeun proton.Urang lajeng niténan ciri volt-ampere pikeun nalungtik degradasi kinerja alat alatan suntik proton.Salajengna, urang ningali ékspansi 1SSF dina gambar electroluminescence (EL) saatos nerapkeun tegangan listrik kana dioda PiN.Tungtungna, urang mastikeun pangaruh suntik proton dina suprési ékspansi 1SSF.
Dina Gbr.Gambar 1 nembongkeun ciri ayeuna-tegangan (CVCs) dioda PiN dina suhu kamar di wewengkon kalawan jeung tanpa implantation proton saméméh pulsed arus.Dioda PiN sareng suntik proton nunjukkeun ciri panyampurnaan anu sami sareng dioda tanpa suntikan proton, sanaos karakteristik IV dibagi antara dioda.Pikeun nuduhkeun bédana antara kaayaan suntik, urang plotted frékuénsi tegangan dina dénsitas ayeuna maju 2,5 A / cm2 (pakait jeung 100 mA) salaku plot statistik ditémbongkeun saperti dina Gambar 2. Kurva diperkirakeun ku sebaran normal ogé digambarkeun. ku garis titik-titik.garis.Sapertos tiasa ditingali tina puncak kurva, résistansi dina rada ningkat dina dosis proton 1014 sareng 1016 cm-2, sedengkeun dioda PiN kalayan dosis proton 1012 cm-2 nunjukkeun ciri anu ampir sami sareng tanpa implantasi proton. .Urang ogé ngalaksanakeun implantasi proton sanggeus fabrikasi dioda PiN nu teu némbongkeun electroluminescence seragam alatan karuksakan disababkeun ku implantation proton ditémbongkeun saperti dina Gambar S1 sakumaha ditétélakeun dina studi saméméhna37,38,39.Ku alatan éta, annealing dina 1600 ° C sanggeus implantasi ion Al nyaéta prosés anu diperlukeun pikeun fabricate alat pikeun ngaktipkeun Akceptor Al, nu bisa ngalereskeun karuksakan disababkeun ku implantation proton, nu ngajadikeun CVCs sarua antara dioda proton PiN implanted jeung non-implanted. .Frékuénsi arus sabalikna dina -5 V ogé dipidangkeun dina Gambar S2, henteu aya béda anu signifikan antara dioda sareng sareng tanpa suntikan proton.
Karakteristik volt-ampere dioda PiN sareng sareng tanpa proton anu disuntik dina suhu kamar.Legenda nunjukkeun dosis proton.
Frékuénsi tegangan dina arus langsung 2,5 A/cm2 pikeun dioda PiN kalawan proton nyuntik jeung non-nyuntik.Garis dotted pakait jeung sebaran normal.
Dina Gbr.3 nembongkeun gambar EL tina dioda PiN kalawan dénsitas ayeuna 25 A / cm2 sanggeus tegangan.Sateuacan nerapkeun beban ayeuna pulsed, wewengkon poék dioda teu katalungtik, ditémbongkeun saperti dina Gambar 3. C2.Sanajan kitu, sakumaha ditémbongkeun dina Gbr.3a, dina dioda PiN tanpa implantasi proton, sababaraha daérah belang poék sareng ujung cahaya dititénan saatos nerapkeun tegangan listrik.Wewengkon poék ngawangun rod sapertos dititénan dina gambar EL pikeun 1SSF ngalegaan ti BPD dina substrat28,29.Gantina, sababaraha faults stacking nambahan dititénan dina diodes PiN kalawan proton implanted, ditémbongkeun saperti dina Gbr. 3b-d.Ngagunakeun topografi sinar-X, kami dikonfirmasi ayana PRs nu bisa mindahkeun tina BPD ka substrat di periphery sahiji kontak dina dioda PiN tanpa suntik proton (Gbr. 4: gambar ieu tanpa nyoplokkeun éléktroda luhur (foto, PR). handapeun éléktroda teu katingali). Ku alatan éta, wewengkon poék dina gambar EL pakait jeung hiji nambahan 1SSF BPD dina substrat. Gambar EL diodes PiN dimuat séjén ditémbongkeun dina Gambar 1 jeung 2. Video S3-S6 kalawan jeung tanpa nambahan. wewengkon poék (waktos-variasi gambar EL of PiN diodes tanpa suntik proton sarta implanted dina 1014 cm-2) ogé ditémbongkeun dina Émbaran Suplemén.
Gambar EL dioda PiN dina 25 A/cm2 saatos 2 jam tegangan listrik (a) tanpa implantasi proton sareng kalayan dosis implan (b) 1012 cm-2, (c) 1014 cm-2 sareng (d) 1016 cm-2 proton.
Urang ngitung dénsitas 1SSF dimekarkeun ku ngitung wewengkon poék jeung edges caang dina tilu diodes PiN pikeun tiap kaayaan, ditémbongkeun saperti dina Gambar 5. Kapadetan 1SSF dimekarkeun nurun jeung ngaronjatna dosis proton, komo dina dosis 1012 cm-2, kapadetan 1SSF dimekarkeun nyata leuwih handap dina dioda PiN non-implanted.
Ngaronjatkeun kapadetan dioda SF PiN sareng sareng tanpa implantasi proton saatos dimuat ku arus pulsa (unggal kaayaan kalebet tilu dioda anu dimuat).
Pondokna umur pamawa ogé mangaruhan suprési ékspansi, sareng suntikan proton ngirangan umur pamawa32,36.Kami geus niténan umur pamawa dina lapisan epitaxial 60 µm kandel jeung nyuntik proton 1014 cm-2.Ti hirupna pamawa awal, sanajan susuk nu ngurangan nilai ka ~ 10%, annealing saterusna restores ka ~ 50%, ditémbongkeun saperti dina Gbr. S7.Ku alatan éta, hirupna pamawa, ngurangan alatan implantasi proton, dibalikeun ku annealing suhu luhur.Sanaos pangurangan 50% dina kahirupan pamawa ogé ngirangan panyebaran kasalahan tumpukan, karakteristik I-V, anu biasana gumantung kana umur pamawa, ngan ukur nunjukkeun bédana leutik antara dioda anu disuntik sareng anu henteu ditanam.Ku alatan éta, kami yakin yén PD anchoring muterkeun hiji peran dina inhibiting ékspansi 1SSF.
Sanajan SIMS teu ngadeteksi hidrogén sanggeus annealing dina 1600 ° C, sakumaha dilaporkeun dina studi saméméhna, kami observasi pangaruh implantation proton dina suprési ékspansi 1SSF, ditémbongkeun saperti dina Gambar 1 jeung 4. 3, 4. Ku alatan éta, urang yakin yén PD ieu anchored ku atom hidrogén jeung dénsitas handap wates deteksi SIMS (2 × 1016 cm-3) atawa titik defects ngainduksi ku implantation.Ieu kudu dicatet yén kami teu dikonfirmasi kanaékan résistansi dina kaayaan alatan elongation of 1SSF sanggeus beban arus surge.Ieu bisa jadi alatan kontak ohmic teu sampurna dijieun maké prosés urang, nu bakal dileungitkeun dina mangsa nu bakal datang.
Kasimpulanana, kami ngembangkeun metode quenching pikeun manjangkeun BPD ka 1SSF dina dioda 4H-SiC PiN nganggo implantasi proton sateuacan fabrikasi alat.Karusakan karakteristik IV-V nalika implantasi proton teu pati penting, khususna dina dosis proton 1012 cm-2, tapi pangaruh tina suppressing ékspansi 1SSF signifikan.Sanajan dina ulikan ieu urang fabricated 10 µm kandel PiN diodes jeung implantation proton ka jero 10 µm, masih mungkin pikeun salajengna ngaoptimalkeun kaayaan implantasi jeung nerapkeun eta pikeun fabricate tipe séjén alat 4H-SiC.Biaya tambahan pikeun fabrikasi alat salami implantasi proton kedah dipertimbangkeun, tapi bakal sami sareng implantasi ion aluminium, anu mangrupikeun prosés fabrikasi utama pikeun alat listrik 4H-SiC.Ku kituna, implantasi proton saméméh ngolah alat mangrupa métode poténsial pikeun fabricating alat kakuatan bipolar 4H-SiC tanpa degeneration.
Wafer 4H-SiC tipe n 4 inci kalayan ketebalan lapisan epitaxial 10 µm sareng konsentrasi doping donor 1 × 1016 cm-3 dipaké salaku sampel.Sateuacan ngolah alat, ion H+ ditanamkeun kana piring kalayan énergi akselerasi 0,95 MeV dina suhu kamar dugi ka jerona sakitar 10 μm dina sudut normal kana permukaan piring.Salila implantasi proton, masker dina piring dipaké, sarta piring miboga bagian tanpa jeung dosis proton 1012, 1014, atawa 1016 cm-2.Teras, ion Al kalayan dosis proton 1020 sareng 1017 cm-3 ditanam dina sadaya wafer dugi ka jero 0-0.2 µm sareng 0.2-0.5 µm tina permukaan, dituturkeun ku anil dina 1600 ° C pikeun ngabentuk tutup karbon ngabentuk lapisan ap.-tipe.Salajengna, kontak Ni sisi tukang disimpen dina sisi substrat, sedengkeun kontak sisi hareup 2.0 mm × 2.0 mm bentuk sisir Ti / Al dibentuk ku photolithography sarta prosés mesek ieu disimpen dina sisi lapisan epitaxial.Tungtungna, annealing kontak dilaksanakeun dina suhu 700 °C.Saatos motong wafer kana chip, kami ngalaksanakeun karakterisasi setrés sareng aplikasi.
Karakteristik I-V tina dioda PiN anu didamel dititénan nganggo analisa parameter semikonduktor HP4155B.Salaku tegangan listrik, arus pulsa 10-milidetik 212,5 A/cm2 diwanohkeun salila 2 jam dina frékuénsi 10 pulsa/detik.Nalika kami milih dénsitas arus atanapi frékuénsi anu langkung handap, kami henteu ningali ékspansi 1SSF sanajan dina dioda PiN tanpa suntikan proton.Salila tegangan listrik anu diterapkeun, suhu dioda PiN sakitar 70 ° C tanpa pemanasan anu dihaja, sapertos anu dipidangkeun dina Gambar S8.Gambar éléktroluminescent dicandak sateuacan sareng saatos tegangan listrik dina kapadetan ayeuna 25 A / cm2.Sinkronisasi pantulan grazing incidence X-ray topografi ngagunakeun sinar X-ray monochromatic (λ = 0,15 nm) di Aichi Synchrotron Radiasi Center, vektor ag di BL8S2 nyaeta -1-128 atawa 11-28 (tingali ref. 44 pikeun detil) .).
Frékuénsi tegangan dina dénsitas arus maju 2,5 A/cm2 diekstrak kalayan interval 0,5 V dina Gbr.2 nurutkeun CVC unggal kaayaan dioda PiN.Tina nilai rata-rata tegangan Vave jeung simpangan baku σ tegangan, urang plot kurva sebaran normal dina bentuk garis titik-titik dina Gambar 2 ngagunakeun persamaan di handap ieu:
Werner, MR & Fahrner, WR Review on bahan, microsensors, sistem jeung alat pikeun-suhu luhur sarta aplikasi lingkungan kasar. Werner, MR & Fahrner, WR Review on bahan, microsensors, sistem jeung alat pikeun-suhu luhur sarta aplikasi lingkungan kasar.Werner, MR jeung Farner, WR Ihtisar bahan, microsensors, sistem jeung alat pikeun aplikasi dina suhu luhur jeung lingkungan kasar. Werner, MR & Fahrner, WR 对用于高温和恶劣环境应用的材料、微传感器、系统和设备的评设。 Werner, Bapak & Fahrner, WR Review bahan, microsensors, sistem jeung alat pikeun suhu luhur sarta aplikasi lingkungan ngarugikeun.Werner, MR jeung Farner, WR Tinjauan bahan, microsensors, sistem jeung alat pikeun aplikasi dina suhu luhur jeung kaayaan kasar.IEEE Trans.éléktronika industri.48, 249–257 (2001).
Kimoto, T. & Cooper, JA Fundamentals of Silicon Carbide Technology Fundamentals of Silicon Carbide Technology: Tumuwuh, Karakterisasi, Alat jeung Aplikasi Vol. Kimoto, T. & Cooper, JA Fundamentals of Silicon Carbide Technology Fundamentals of Silicon Carbide Technology: Tumuwuh, Karakterisasi, Alat jeung Aplikasi Vol.Kimoto, T. jeung Cooper, JA Dasar Téhnologi Silicon Carbide Dasar Téhnologi Silicon Carbide: Tumuwuh, Ciri, Alat jeung Aplikasi Vol. Kimoto, T. & Cooper, JA 碳化硅技术基础碳化硅技术基础：增长、表征、设备和应用卷。 Kimoto, T. & Cooper, JA Carbon 化silikon basis téhnologi Karbon 化silikon basis téhnologi: tumuwuhna, déskripsi, parabot jeung volume aplikasi.Kimoto, T. jeung Cooper, J. Dasar Téhnologi Silicon Carbide Dasar Téhnologi Silicon Carbide: Tumuwuh, Ciri, Equipment jeung Aplikasi Vol.252 (Wiley Singapura Pte Ltd, 2014).
Veliadis, V. Skala badag Commercialization of SiC: Status Quo jeung halangan bisa nungkulan.almamater.élmu.Forum 1062, 125–130 (2022).
Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR & Joshi, YK Tinjauan téknologi bungkusan termal pikeun éléktronika kakuatan otomotif pikeun tujuan traction. Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR & Joshi, YK Tinjauan téknologi bungkusan termal pikeun éléktronika kakuatan otomotif pikeun tujuan traction.Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR na Joshi, YK Ihtisar téknologi bungkusan termal pikeun éléktronika kakuatan otomotif keur kaperluan traction. Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR & Joshi, YK 用于牵引目的的汽车电力电子热封装技术的回顾。 Broughton, J., Smet, V., Tummala, RR & Joshi, YKBroughton, J., Smet, V., Tummala, RR na Joshi, YK Ihtisar téhnologi bungkusan termal pikeun éléktronika kakuatan otomotif keur kaperluan traction.J. Éléktron.Bungkusan.trance.ASME 140, 1-11 (2018).
Sato, K., Kato, H. & Fukushima, T. Ngembangkeun SiC dilarapkeun sistem traction pikeun karéta-speed tinggi Shinkansen generasi saterusna. Sato, K., Kato, H. & Fukushima, T. Ngembangkeun SiC dilarapkeun sistem traction pikeun karéta-speed tinggi Shinkansen generasi saterusna.Sato K., Kato H. jeung Fukushima T. Ngembangkeun sistem traction SiC terapan pikeun karéta Shinkansen-speed tinggi generasi saterusna.Sato K., Kato H. jeung Fukushima T. Pangwangunan Sistem Traksi pikeun Aplikasi SiC pikeun Karéta Shinkansen Kecepatan Tinggi Generasi Salajengna.Appendix IEEJ J. Ind. 9, 453–459 (2020).
Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. & Okumura, H. Tantangan pikeun ngawujudkeun alat kakuatan SiC kacida dipercaya: Tina status ayeuna jeung isu wafers SiC. Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. & Okumura, H. Tantangan pikeun ngawujudkeun alat kakuatan SiC kacida dipercaya: Tina status ayeuna jeung isu wafers SiC.Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. sarta Okumura, H. Masalah dina palaksanaan alat kakuatan SiC kacida dipercaya: mimitian ti kaayaan ayeuna jeung masalah wafer SiC. Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. & Okumura, H. 实现高可靠性SiC 功率器件的挑战：从SiC 晶圆的现状和问颜。 Senzaki, J., Hayashi, S., Yonezawa, Y. & Okumura, H. Tangtangan pikeun ngahontal reliabilitas anu luhur dina alat kakuatan SiC: ti SiC 晶圆的电视和问题设计。Senzaki J, Hayashi S, Yonezawa Y. jeung Okumura H. Tantangan dina ngembangkeun alat kakuatan-reliabilitas tinggi dumasar kana silikon carbide: review ngeunaan status jeung masalah pakait sareng wafers silikon carbide.Dina 2018 IEEE International Symposium on Reliability Physics (IRPS).(Senzaki, J. et al. eds.) 3B.3-1-3B.3-6 (IEEE, 2018).
Kim, D. & Sung, W. Ningkat pondok-circuit ruggedness pikeun 1.2kV 4H-SiC MOSFET ngagunakeun jero P-ogé dilaksanakeun ku channeling implantation. Kim, D. & Sung, W. Ningkat pondok-circuit ruggedness pikeun 1.2kV 4H-SiC MOSFET ngagunakeun jero P-ogé dilaksanakeun ku channeling implantation.Kim, D. jeung Sung, V. Ningkatkeun kekebalan pondok-circuit pikeun 1,2 kV 4H-SiC MOSFET ngagunakeun jero P-ogé dilaksanakeun ku implantation channel. Kim, D. & Sung, W. 使用通过沟道注入实现的深P 阱提高了1.2kV 4H-SiC MOSFET 的短路耐用性。 Kim, D. & Sung, W. P 阱提高了 1.2kV 4H-SiC MOSFETKim, D. sarta Sung, V. Ningkat kasabaran pondok-circuit of 1,2 kV 4H-SiC MOSFETs ngagunakeun jero P-sumur ku implantation channel.IEEE Alat éléktronik Lett.42, 1822–1825 (2021).
Skowronski M. et al.Rekombinasi-ditingkatkeun gerak defects dina maju-bias 4H-SiC pn diodes.J. Aplikasi.Fisika.92, 4699–4704 (2002).
Ha, S., Mieszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, konversi LB Dislocation di 4H silikon carbide epitaxy. Ha, S., Mieszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, konversi LB Dislocation di 4H silikon carbide epitaxy.Ha S., Meszkowski P., Skowronski M. jeung Rowland LB Dislocation transformasi salila 4H silikon carbide epitaxy. Ha, S., Mieszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, LB 4H 碳化硅外延中的位错转换。 Ha, S., Mieszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, LB 4H Ha, S., Meszkowski, P., Skowronski, M. & Rowland, LBDislokasi transisi 4H dina silikon carbide epitaxy.J. Kristal.Tumuwuh 244, 257-266 (2002).
Skowronski, M. & Ha, S. Degradasi alat bipolar dumasar silikon-carbide héksagonal. Skowronski, M. & Ha, S. Degradasi alat bipolar dumasar silikon-carbide héksagonal.Skowronski M. jeung Ha S. Degradasi alat bipolar héksagonal dumasar kana silikon carbide. Skowronski, M. & Ha, S. 六方碳化硅基双极器件的降解。 Skowronski M. & Ha S.Skowronski M. jeung Ha S. Degradasi alat bipolar héksagonal dumasar kana silikon carbide.J. Aplikasi.fisika 99, 011101 (2006).
Agarwal, A., Fatimah, H., Haney, S. & Ryu, S.-H. Agarwal, A., Fatimah, H., Haney, S. & Ryu, S.-H.Agarwal A., Fatima H., Heini S. jeung Ryu S.-H. Agarwal, A., Fatimah, H., Haney, S. & Ryu, S.-H. Agarwal, A., Fatimah, H., Haney, S. & Ryu, S.-H.Agarwal A., Fatima H., Heini S. jeung Ryu S.-H.Mékanisme degradasi énggal pikeun MOSFET kakuatan SiC tegangan tinggi.IEEE Alat éléktronik Lett.28, 587–589 (2007).
Caldwell, JD, Stahlbush, RE, Ancona, MG, Glembocki, OJ & Hobart, KD Dina gaya nyetir pikeun gerak sesar tumpukan rekombinasi-ngainduksi dina 4H-SiC. Caldwell, JD, Stahlbush, RE, Ancona, mg, Glembocki, OJ & Hobart, KD Dina gaya nyetir pikeun rekombinasi-ngainduksi stacking gerak sesar di 4H-SiC.Caldwell, JD, Stalbush, RE, Ancona, mg, Glemboki, OJ, sarta Hobart, KD Dina gaya nyetir gerak sesar tumpukan rekombinasi-ngainduksi dina 4H-SiC. Caldwell, JD, Stahlbush, RE, Ancona, MG, Glembocki, OJ & Hobart, KD 关于4H-SiC 中复合引起的层错运动的驱动力。 Caldwell, JD, Stahlbush, RE, Ancona, MG, Glembocki, OJ & Hobart, KDCaldwell, JD, Stalbush, RE, Ancona, MG, Glemboki, OJ, sarta Hobart, KD, Dina gaya nyetir gerak sesar tumpukan rekombinasi-ngainduksi dina 4H-SiC.J. Aplikasi.Fisika.108, 044503 (2010).
Iijima, A. & Kimoto, T. modél énergi éléktronik pikeun Shockley stacking formasi sesar tunggal dina kristal 4H-SiC. Iijima, A. & Kimoto, T. modél énergi éléktronik pikeun Shockley stacking formasi sesar tunggal dina kristal 4H-SiC.Iijima, A. jeung Kimoto, T. Modél éléktron-énergi formasi defects tunggal packing Shockley dina kristal 4H-SiC. Iijima, A. & Kimoto, T. 4H-SiC 晶体中单Shockley 堆垛层错形成的电子能量模型。 Iijima, A. & Kimoto, T. Modél énergi éléktronik tunggal Shockley stacking formasi sesar dina kristal 4H-SiC.Iijima, A. jeung Kimoto, T. Modél éléktron-énergi formasi tunggal cacad Shockley packing dina kristal 4H-SiC.J. Aplikasi.fisika 126, 105703 (2019).
Iijima, A. & Kimoto, T. Estimasi tina kaayaan kritis pikeun ékspansi / kontraksi faults stacking Shockley tunggal di 4H-SiC PiN diodes. Iijima, A. & Kimoto, T. Estimasi tina kaayaan kritis pikeun ékspansi / kontraksi faults stacking Shockley tunggal di 4H-SiC PiN diodes.Iijima, A. sarta Kimoto, T. Estimasi tina kaayaan kritis pikeun ékspansi / komprési defects packing tunggal Shockley di 4H-SiC PiN-dioda. Iijima, A. & Kimoto, T. 估计4H-SiC PiN 二极管中单个Shockley 堆垛层错膨胀/收缩的临界条件。 Iijima, A. & Kimoto, T. Estimasi tunggal Shockley stacking lapisan ékspansi / kaayaan kontraksi di 4H-SiC PiN diodes.Iijima, A. sarta Kimoto, T. Estimasi tina kaayaan kritis pikeun ékspansi / komprési cacad tunggal packing Shockley di 4H-SiC PiN-dioda.aplikasi fisika Wright.116, 092105 (2020).
Mannen, Y., Shimada, K., Asada, K. & Ohtani, N. Modél aksi sumur kuantum pikeun formasi hiji Shockley stacking sesar tunggal dina kristal 4H-SiC dina kaayaan non-kasaimbangan. Mannen, Y., Shimada, K., Asada, K. & Ohtani, N. Modél aksi sumur kuantum pikeun formasi hiji Shockley stacking sesar tunggal dina kristal 4H-SiC dina kaayaan non-kasaimbangan.Mannen Y., Shimada K., Asada K., sarta Otani N. Modél sumur kuantum pikeun formasi hiji Shockley stacking sesar tunggal dina kristal 4H-SiC dina kaayaan nonequilibrium.Mannen Y., Shimada K., Asada K. sarta Otani N. Modél interaksi sumur kuantum pikeun formasi faults stacking Shockley tunggal dina kristal 4H-SiC dina kaayaan nonequilibrium.J. Aplikasi.Fisika.125, 085705 (2019).
Galeckas, A., Linnros, J. & Pirouz, P. rekombinasi-ngainduksi stacking faults: Bukti pikeun mékanisme umum dina héksagonal SiC. Galeckas, A., Linnros, J. & Pirouz, P. rekombinasi-ngainduksi stacking faults: Bukti pikeun mékanisme umum dina héksagonal SiC.Galeckas, A., Linnros, J. sarta Pirouz, P. Rekombinasi-ngainduksi Defects packing: Bukti pikeun mékanisme umum dina héksagonal SiC. Galeckas, A., Linnros, J. & Pirouz, P. 复合诱导的堆垛层错：六方SiC 中一般机制的证据。 Galeckas, A., Linnros, J. & Pirouz, P. Bukti pikeun mékanisme umum lapisan stacking induksi komposit: 六方SiC.Galeckas, A., Linnros, J. sarta Pirouz, P. Rekombinasi-ngainduksi Defects packing: Bukti pikeun mékanisme umum dina héksagonal SiC.fisika Pastor Wright.96, 025502 (2006).
Ishikawa, Y., Sudo, M., Yao, Y.-Z., Sugawara, Y. & Kato, M. Ékspansi sesar tumpukan Shockley tunggal dina lapisan epitaxial 4H-SiC (11 2 ¯0) disababkeun ku éléktron iradiasi sinar.Ishikawa, Y., M. Sudo, pancaran sinar Y.-Z.Ishikawa, Y., Sudo M., Y.-Z Psikologi.Kotak, Ю., М.Судо, Y.-Z Chem., J. Chem., 123, 225101 (2018).
Kato, M. Katahira, S., Ichikawa, Y., Harada, S. & Kimoto, T. Observasi rekombinasi pamawa dina Shockley stacking faults tunggal jeung dislocations parsial di 4H-SiC. Kato, M. Katahira, S., Ichikawa, Y., Harada, S. & Kimoto, T. Observasi rekombinasi pamawa dina Shockley stacking faults tunggal jeung dislocations parsial di 4H-SiC.Kato M. Katahira S., Itikawa Y. Harada S. jeung Kimoto T. Observasi Carrier Rekombinasi dina Single Shockley Defects Packing sarta Dislocations parsial dina 4H-SiC. Kato, M., Katahira, S., Ichikawa, Y., Harada, S. & Kimoto, T. 单Shockley 堆垛层错和4H-SiC 部分位错中载流子复合的观察。 Kato, M., Katahira, S., Ichikawa, Y., Harada, S. & Kimoto, T. 单Shockley stacking stacking和4H-SiC parsial 位错中载流子去生的可以。Kato M. Katahira S., Itikawa Y. Harada S. jeung Kimoto T. Observasi Carrier Rekombinasi dina Single Shockley Defects Packing sarta Dislocations parsial dina 4H-SiC.J. Aplikasi.fisika 124, 095702 (2018).
Kimoto, T. & Watanabe, H. rékayasa cacad dina téhnologi SiC pikeun alat kakuatan tegangan tinggi. Kimoto, T. & Watanabe, H. rékayasa cacad dina téhnologi SiC pikeun alat kakuatan tegangan tinggi.Kimoto, T. jeung Watanabe, H. Ngembangkeun defects dina téhnologi SiC pikeun alat kakuatan-tegangan tinggi. Kimoto, T. & Watanabe, H. 用于高压功率器件的SiC 技术中的缺陷工程。 Kimoto, T. & Watanabe, H. rékayasa cacad dina téhnologi SiC pikeun alat kakuatan tegangan tinggi.Kimoto, T. jeung Watanabe, H. Ngembangkeun defects dina téhnologi SiC pikeun alat kakuatan-tegangan tinggi.aplikasi fisika Express 13, 120101 (2020).
Zhang, Z. & Sudarshan, TS Basal pesawat dislocation bébas epitaxy silikon carbide. Zhang, Z. & Sudarshan, TS Basal pesawat dislocation bébas epitaxy silikon carbide.Zhang Z. jeung Sudarshan TS epitaxy bébas Dislokasi tina silikon carbide dina pesawat basal. Zhang, Z. & Sudarshan, TS 碳化硅基面无位错外延。 Zhang, Z. & Sudarshan, TSZhang Z. jeung Sudarshan TS epitaxy bébas Dislokasi tina silikon carbide planes basal.pernyataan.Fisika.Wright.87, 151913 (2005).
Zhang, Z., Moulton, E. & Sudarshan, TS Mékanisme ngaleungitkeun dislocations pesawat basal dina film ipis SiC ku epitaxy dina substrat etched. Zhang, Z., Moulton, E. & Sudarshan, TS Mékanisme ngaleungitkeun dislocations pesawat basal dina film ipis SiC ku epitaxy dina substrat etched.Zhang Z., Moulton E. jeung Sudarshan TS Mékanisme ngaleungitkeun dislocations pesawat basa dina film ipis SiC ku epitaxy dina substrat etched. Zhang, Z., Moulton, E. & Sudarshan, TS 通过在蚀刻衬底上外延消除SiC 薄膜中基面位错的机制。 Zhang, Z., Moulton, E. & Sudarshan, TS Mékanisme ngaleungitkeun pilem ipis SiC ku etching substrat.Zhang Z., Moulton E. jeung Sudarshan TS Mékanisme ngaleungitkeun dislocations pesawat basa dina film ipis SiC ku epitaxy on substrat etched.aplikasi fisika Wright.89, 081910 (2006).
Shtalbush RE et al.gangguan tumuwuh ngabalukarkeun panurunan dina dislocations pesawat basal salila 4H-SiC epitaxy.pernyataan.Fisika.Wright.94, 041916 (2009).
Zhang, X. & Tsuchida, H. Konversi dislocations pesawat basal mun threading dislocations ujung di 4H-SiC epilayers ku annealing suhu luhur. Zhang, X. & Tsuchida, H. Konversi dislocations pesawat basal mun threading dislocations ujung di 4H-SiC epilayers ku annealing suhu luhur.Zhang, X. jeung Tsuchida, H. Transformasi tina dislocations pesawat basal kana threading ujung dislocations di 4H-SiC lapisan epitaxial ku annealing suhu luhur. Zhang, X. & Tsuchida, H. 通过高温退火将4H-SiC 外延层中的基面位错转化为螺纹刃位错。 Zhang, X. & Tsuchida, H. 通过高温退火将4H-SiCZhang, X. jeung Tsuchida, H. Transformasi tina dislocations pesawat basa kana dislocations ujung filamén di 4H-SiC lapisan epitaxial ku annealing suhu luhur.J. Aplikasi.Fisika.111, 123512 (2012).
Song, H. & Sudarshan, TS Basal konvérsi dislokasi pesawat deukeut epilayer / panganteur substrat dina tumuwuhna epitaxial of 4 ° off-sumbu 4H-SiC. Song, H. & Sudarshan, TS Basal konvérsi dislokasi pesawat deukeut epilayer / panganteur substrat dina tumuwuhna epitaxial of 4 ° off-sumbu 4H-SiC.Song, H. jeung Sudarshan, TS Transformasi tina dislocations pesawat basal deukeut lapisan epitaxial / panganteur substrat salila tumuwuhna kaluar-sumbu epitaxial of 4H-SiC. Song, H. & Sudarshan, TS 在4° 离轴4H-SiC 外延生长中外延层/衬底界面附近的基底平面位错转换。 Song, H. & Sudarshan, TS 在4° 离轴4H-SiC Song, H. & Sudarshan, TSTransisi dislokasi planar substrat deukeut lapisan epitaxial / wates substrat salila tumuwuhna epitaxial of 4H-SiC luar sumbu 4 °.J. Kristal.Tumuwuh 371, 94-101 (2013).
Konishi, K. et al.Dina arus tinggi, rambatan tina dislocation pesawat basal stacking sesar dina 4H-SiC lapisan epitaxial transforms kana filamén ujung dislocations.J. Aplikasi.Fisika.114, 014504 (2013).
Konishi, K. et al.Desain lapisan epitaxial pikeun bipolar non-degradable SiC MOSFETs ku detecting nambahan stacking situs nucleation sesar dina analisis topographic X-ray operasional.AIP Advanced 12, 035310 (2022).
Lin, S. et al.Pangaruh struktur dislocation pesawat basal dina rambatan tina hiji Shockley-tipe stacking sesar salila buruk ayeuna maju tina 4H-SiC pin diodes.Jepang.J. Aplikasi.Fisika.57, 04FR07 (2018).
Tahara, T., et al.Umur pamawa minoritas pondok dina epilayers 4H-SiC-euyeub nitrogén dipaké pikeun ngurangan stacking faults di diodes PiN.J. Aplikasi.Fisika.120, 115101 (2016).
Tahara, T. et al.Katergantungan konsentrasi pamawa nyuntik tina panyebaran kasalahan tumpukan Shockley tunggal dina dioda 4H-SiC PiN.J. Aplikasi.Fisika 123, 025707 (2018).
Mae, S., Tawara, T., Tsuchida, H. & Kato, M. Sistim mikroskopis FCA pikeun pangukuran hirupna pamawa jero-direngsekeun dina SiC. Mae, S., Tawara, T., Tsuchida, H. & Kato, M. Sistim mikroskopis FCA pikeun pangukuran hirupna pamawa jero-direngsekeun dina SiC.Mei, S., Tawara, T., Tsuchida, H. jeung Kato, M. Sistem mikroskopis FCA pikeun Pangukuran Hirupna Carrier Jerona-direngsekeun dina Silicon Carbide. Mae, S., Tawara, T., Tsuchida, H. & Kato, M. 用于SiC 中深度分辨载流子寿命测量的显微FCA 系统。 Mae, S., Tawara, T., Tsuchida, H. & Kato, M. Pikeun SiC sedeng-jero 分辨载流子 ukur hirupna 的月微 sistem FCA.Mei S., Tawara T., Tsuchida H. jeung Kato M. Sistim Micro-FCA pikeun pangukuran hirupna pamawa jero-ngumbar dina silikon carbide.Forum élmu almamater 924, 269-272 (2018).
Hirayama, T. et al.Sebaran jerona umur pamawa dina lapisan epitaxial 4H-SiC kandel diukur henteu ngaruksak ngagunakeun résolusi waktos nyerep pamawa gratis sareng cahaya meuntas.Pindah kana élmu.méter.91, 123902 (2020).
waktos pos: Nov-06-2022